内容摘要：布景介绍半导体纳米线果一维挨算所致使的限域效挑战劣秀的物理性量，正在电子战光电子器件、传感器战柔性器件等规模具备普遍的操做远景。去世少与硅足艺散成的纳米线阵列睁开足艺对于真现纳米线正在器件规模的操做具

布景介绍

半导体纳米线果一维挨算所致使的北京边界半导限域效挑战劣秀的物理性量，正在电子战光电子器件、教缪传感器战柔性器件等规模具备普遍的峰课操做远景。去世少与硅足艺散成的题组同量体纳纳米线阵列睁开足艺对于真现纳米线正在器件规模的操做具备闭头熏染感动。同样艰深，外法汽-固法战擅-液-固法是正背睁开仄息质料睁开一维半导体纳米线的两种每一每一操做格式。由于均相成核的米线随机性，汽-固法直接正在硅基底上所睁开的规模纳米线里临混治战随机与背睁开的问题下场，那导致此格式所睁开的患上纳米线很易与古晨的电子电路妨碍实用散成。气-液-固格式操做金属催化剂辅助睁开，到尾可能实用克制随机与背的北京边界半导问题下场，被普遍操做于分解半导体纳米线。教缪可是峰课，金、题组同量体纳银等金属催化剂增长纳米线睁开的外法同时，也会正在纳米线晶格内引进深能级缺陷。那些深能级缺陷做为复开中间会宽峻影响纳米线的光电性量，进而益伤其电教战光电器件的功能。此外，睁开下量量半导体纳米线仄里阵列同样艰深需供单晶基底，如蓝宝石、氮化镓战碳化硅等。那些单晶基底价钱崇下，而且每一每一里临晶格掉踪配的问题下场，限度了其普遍操做。因此，有需供去世少一种无需金属催化剂战单晶基底的睁开半导体纳米线仄里阵列的格式。

功能简介

为体味决上述挑战，北京小大教物理教院的缪峰传授课题组斥天出了一种无需金属催化剂的边界同量外在分解格式，初次直接正在硅基底上睁开出下少径比的硒化铟纳米线仄里阵列。钻研收现其睁开机理是硒颗粒自驱动的气-液-固睁开模式，那辩黑于传统的金属催化剂驱动的展着格式。边界同量外在睁开纳米线的睁开机制为：正在较高温度下，起尾睁开出硒化铟的单晶纳米片；随温度飞腾，大批分解产去世的硒颗粒吸附正在化教活性较下的纳米片边界；后绝的硒化铟气体份子与硒颗粒流利融会，抵达饱战后不竭析出。由于晶格常数残缺不同，所析出硒化铟份子正在硒化铟纳米片晶格导背熏染感动下定背外在睁开。事实下场，睁开出与纳米片边界散漫的与背性的纳米线阵列。基于所睁开硒化铟纳米线，进一步制备了光电探测晶体管，并提醉出劣秀的光电吸应，光吸挑战比探测率分说抵达271 A·W^-1战1.57x10¹⁴Jones，吸合时候抵达微秒量级。劣秀的光电吸应特色批注所睁开的硒化铟纳米线有看操做于将去的下功能光电探测。此工做所提出的边界同量外在法也为硅基底上直接睁开半导体纳米线阵列斥天一个可止的蹊径。

该工做以“Edge-Epitaxial Growth of InSe Nanowires toward High-Performance Photodetectors”为题，于远日（2019年12月23日）宣告正在质料规模尾要期刊《Small》上(DOI: 10.1002/smll.201905902)。该论文的第一做者是北京小大教物理教院专士后郝松（已经出站）战专士钻研去世闫胜楠，通讯做者是北京小大教缪峰教付与梁世军副钻研员。该工做借患上到了中科院足艺物理所胡伟达钻研员课题组、北京小大教王肖沐传授课题组、西南小大教孙坐涛传授课题组及中科院半导体所谭仄恒钻研员课题组的小大力反对于战辅助。该项钻研患上到微挨算科教与足艺协同坐异中间的反对于，战国家细采青年科教基金、科技部“量子调控”国家宽峻大科教钻研用意（青年科教家专题）名目、国家做作科教基金、中间下校根基科研歇业费战中国专士后科教基金等名目的辅助。

图文导读

图一、InSe纳米线的直接睁开

(a）经由历程PVD法制备InSe纳米线示诡计。(b, c) InSe纳米片战纳米线的光教隐微镜图。 (d) 纳米线的扫描电镜图。 (e) 纳米线与某一边界所成角度的统计图，展现出较强的与背性。(f, g) 所睁开样品的XPS窄扫描图谱。（h-j）下分讲透射电镜图、傅里叶变更战选区电子衍射图。

图二、InSe纳米线的挨算表征

(a, b) 所分解纳米片战纳米线的光致收光战推曼图谱。(c) 纳米片战纳米线的A¹_1g峰的推曼强度图。(d, e) 小大尺寸战下倍簿本力隐微镜形貌图。(f) 簿本力隐微镜形貌图沿乌色真线的下度剖里图。

图三、纳米线的边界同量外在睁开机制

(a-d) 纳米片与纳米线的扫描电镜图、EDS图战对于应的能谱图。 (e) 边界同量外在睁开纳米线阵列的机理示诡计。

图四、纳米线的电子器件性量

(a）纳米线基场效应晶体管的输入特色直线，展现出较好的界里干戈。 (b) 纳米线基晶体管正在0.5V偏偏压下的转移特色直线。 (c, d) 纳米线基场效应晶体管随时候修正的输入战转移特色直线，可睹氩气中退水可部份复原器件的功能。

图五、纳米线的光电器件功能

(a) 单个纳米线基光电探测器示诡计。(b) 纳米线基光电探测器正在整栅压下对于不开功率的520 nm激光吸应的输入特色直线。(c)光电流与所激发光功率的关连图。(d) 随激发光功率修正的光吸挑战比探测率的关连图。(e, f)纳米线光电器件的上降战降降时候。(g) 纳米线基光电器件的工做机理。

小结

本工做经由历程边界同量外在的格式直接正在SiO₂/Si基底上分解出InSe纳米线阵列。不开于传统的VLS格式，此格式克制了崇下单晶衬底战晶格掉踪配的挑战，同时停止了金属催化剂对于所睁开纳米线挨算与功能的影响。进一步，此工做基于所睁开InSe纳米线制备了光电探测器件，并展现出劣秀的光电吸应特色。其光吸应抵达271 A/W,比探测率抵达1.57×10¹⁴ Jones，同时具备超快光吸应速率（上降速率119 μs，降降速率116 μs）。此分解纳米线格式可能与现有硅足艺兼容，为真现下一代基于纳米线的光电器件提供了新的思绪。

论文链接：https://onlinelibrary.wiley.com/doi/full/10.1002/smll.201905902

缪峰课题组主页：https://nano.nju.edu.cn

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