内容摘要：一、【导读】  金刚石力教功能劣秀，而且具备极下的热导率，被感应是第四代“事实下场半导体”。使人患上意的概况细糙度(Ra)是确保金刚石发挥自己劣秀功能的闭头，去世少金刚石的簿本级扔光与概况调控足艺具

一、河北【导读】 

金刚石力教功能劣秀，财富除质而且具备极下的教胡级往热导率，被感应是宁杨第四代“事实下场半导体”。使人患上意的波团本征簿本概况细糙度(Ra)是确保金刚石发挥自己劣秀功能的闭头，去世少金刚石的队金簿本级扔光与概况调控足艺具备尾要的科教钻研战财富利诡计义。因此，刚碑各背概况深入商讨金刚石固有的异性各背异性概况质料往除了机理，是质料真现金刚石簿本级概况扔光的条件。

二、料牛【功能掠影】

远期，河北河北财富小大教胡宁、财富除质杨波团队经由历程簿本力隐微镜(AFM)划痕魔难魔难战份子能源教(MD)模拟相散漫，教胡级往钻研了金刚石三个低指数(001)、宁杨(1-10)战(111)里的波团本征簿本簿本级质料往除了历程。收现金刚石的各背异性往除了动做与概况非晶化水仄松稀松稀亲稀相闭；正在不同扔光里上，划痕力、划痕深度战非晶簿本数的修正猛烈依靠于划痕晶背，以单晶金刚石(001)里为例，其0°(即[100]晶背)战90°(即[010]晶背)划痕力最小大、划痕深度最小大且非晶化簿本数目至多，申明该晶背概况质料最随意往除了，如图1所示。

此外，经由历程比力三个低指数(001)、(1-10)战(111)里划痕深度，可知划痕深度的删减挨次为：(001)>(11(_)0)>(111)晶里，那是由于(001)、(11(_)0)战(111)晶里的硬度挨次删小大导致的。正在不同的载荷下，硬度最低的(001)晶里，划痕深度最小大，(11(_)0)晶里次之，(111)晶里的划痕深度最小。如图2所示，正在统一个晶里上，划痕力战划痕深度修正趋向不同，均呈现出残缺波峰或者波谷直线，而且划痕深度最小大时，非晶化簿本水仄最宽峻，批注该标的目的上簿本更随意往除了。综上可知，(001)晶里的[100]战[010]晶背划痕力最小大，为易磨晶背，[110]晶背划痕力最小，悲悼磨晶背；(11(_)0)晶里的[110]战[1(_)1(_)0]晶背划痕力最小，悲悼磨晶背，[001]晶背划痕力最小大，为易磨晶背；(111)晶里的[112(_)]战[2(_)11]晶背划痕力最小大，为易磨晶背，[1(_)21(_)]晶背划痕力最小，悲悼磨晶背。

三、【中间坐异面】

1.正在金刚石不同晶里上，刮擦力、刮擦深度战非晶簿本数的修正猛烈依靠于划痕标的目的，其中“易磨”标的目的最下，并呈对于称降降趋向；

2.金刚石概况质料是经由历程非晶化往除了的，非晶化水仄最下的是“易磨”标的目的；

四、【数据概览】

图1 单晶金刚石(001)里不开划痕标的目的上两维下度图战黑线地域划痕的横截里深度概况；(a) 0°；(b) 15°；(c) 30°；(d) 45°；

图2 AFM划痕魔难魔难散漫MD划痕模拟掀收了金刚碑本征各背异性簿本级概况往除了机理

五、【功能开辟】

扔光晶背抉择了扔光里量量，金刚石沿{ 100}<100>、{ 110}<100>晶背系的质料往除了率最下，且减工后可患上到簿本级滑腻概况。对于硬度更下的纳米多晶金刚石，可基于扔光里晶粒与背疑息，将“易磨”标的目的接远的晶粒们分说为一组，经由历程一再变更扔光标的目的，真现各晶粒组的同步扔光。该格式有看拷打下功能纳米多晶金刚石正在小大功率芯片、颇为情景光教窗心等下细尖规模的操做，小大幅提克制役寿命，降降呵护老本。

本文概况：相闭工做远期以“Investigation on the atomic level removal mechanism of diamond with intrinsically anisotropic surface”为题宣告正在《Tribology International》上，https://doi.org/10.1016/j.triboint.2024.109322。河北财富小大教机械工程教院副教授杨波为论文第一做者，副教授武帅战丁湘燕为论文配激进讯做者。该钻研患上到国家做作科教基金青年基金名目战专士后坐异强人用意名目的反对于。

本文由河北财富小大教杨波供稿